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SEM納米探針臺產品實現了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優點,可應于SEM真空腔體內完成各種納米精度運動操作。
ZP3-4 微納探針臺探針數量:4個探頭,每個探頭配備一個三軸探針臂;自由度:每個探頭獨立驅動(X、Y、Z三自由度)。
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