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PRODUCTS CNTER當前位置:首頁產品中心臺式電鏡&臺階儀&原位分析澤攸臺階儀半自動臺階儀 JS100B
半自動臺階儀 JS100B 國產半自動臺階儀JS100B/200B/300B,擁有高精度、高分解能力,搭配一體花崗巖結構,提供穩定可靠的重復性測量。JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像,可無畸變的觀察樣品區,方便定位特征區域,同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。
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半自動臺階儀 JS100B
應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
系統組成
▲ 一體式臺階儀
選配品
▲ 高度校準標樣
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品